2.4. 透射电镜成像分析 概述 2.4.1 薄膜样品的制备 2.4.2 质厚衬度成像原理 2.4.3 衍衬成像原理概述 光学显微镜及扫描电镜均只能观察物质表面的微观形貌,无法获得物质内部的信息。 透射电镜入射电子透射试样后,将与试样内部原子发生相互作用,从而改变其能量及运动方向。显然,不同结构有不同的相互作用。这样,就可以根据透射电子图像所获得的信息来了解试样内部的结构。 由于试样结构和相互作用的复杂性,因此所获得的图像也很复杂。它不像表面形貌那样直观、易懂。概述 如何对一张电子图像获得的信息作出正确的解释和判断,不但很重要,也很困难。必须建立一套相应的理论才能对透射电子像作出正确的解释。如前所述电子束透过试样所得到的透射电子束的强度及方向均发生了变化,由于试样各部位的组织结构不同,因而透射到荧光屏上的各点强度不均匀,这种强度的不均匀分布现像就称为衬度,所获得的电子像称为透射电子衬度像概述 衬度(contrast)定义:两个相临部分的电子束强度差 当电子逸出试样下表面时,由于试样对电子束的作用,使得透射到荧光屏上的强度不均匀,这种强度不均匀的电子像称为衬度像四种衬度 质量厚度衬度: