讨论稿实验报告-高纯铂化学分析方法杂质元素含量测定辉光放电质谱法.docx

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讨论稿实验报告-高纯铂化学分析方法,杂质元素含量测定,辉光放电质谱法 高纯铂化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 试 验报告 ( 预审 稿) 贵研铂业股份有限公司 2021 年 年 7 月 月 高纯铂化学分析方法 杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 前 言 高纯铂以其独特的物理化学性能被应用于高科技半导体材料制造、靶材制造、精密仪器制造等行业。准确测定其杂质元素含量对高纯铂产品制备过程控制和纯度判定具有十分重要的意义。 纯金属铂的测定方法有发射光谱法(AES) 1 、电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES) 2,3 、电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) 4 、火花源质谱法(SSMS) 5 、激光烧蚀电感耦合等离子体质谱法(LA-ICP-MS) 6 、辉光放电质谱法(GD-MS) 7,8 等。产品标准 GB/T 1419-2021 海绵铂

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