电子级超纯水标准(共2页).doc

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精选优质文档-倾情为你奉上水 质 标 准中国电子行业超纯水国家标准(GB/T11446.1-1997 )指 标 名 称一 级 水(EW-1)二 级 水(EW-2)电阻率M.CM. (25)18(95时间)不低于1715(95时间)不低于13硅g/L210微粒数1m0.15细菌个数个/ml0.010.1铜g/L0.21锌g/L0.21镍g/L0.11钠g/L0.52钾g/L0.52氯g/L11硝酸根g/L11磷酸根g/L11硫酸根g/L11总有机碳g/L20100中

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