Hookup中CDA用不锈钢管材及管件介紹主讲主讲:谢德华谢德华目录n 不锈钢简介及分类n 管件与阀门n 加工工具及工法n 澄清及规范n 注意事项及常见缺失n 过滤器 CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及碳氢化合物以供给无尘室CDA。 CDA System:空气压缩机 缓衡储存槽 冷却干燥机 过滤器 CDA CDA大宗气体在半导体厂的用途 CDA： CDA主要供给FAB内气动设备动力气源及吹净(purge)，Local Scrubber助燃。IA主要供给厂务系统气动设备动力气源及吹净。N2： 主要供给部分气动设备气源或供给吹净、稀释、惰性气体环境及化学品输送压力来O2： 供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用，供给O3 Generator所需之氧气供应及其它制程所需。Ar： 供给Sputter制程，离子溅镀热传导介质，Chamber稀释及惰性气体环境。H2： 供给炉管设备燃烧造成湿氧环境，POLY制程中做H2 BAKE之用，W-PLUG制程中作为WF6之还原反应气体及其它制程所需。He： 供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。
