精选优质文档-倾情为你奉上扫描电子显微镜知识AZ / SEM的构造扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope:SEM)是观察样品表面的装置。用很细的电子束(称为电子探针)照射样品时,从样品表面会激发二次电子,在电子探针进行二维扫描时,通过检测二次电子形成一幅图像,就能够观察样品的表面形貌。SEM的构造装置的结构SEM由形成电子探针的电子光学系统、装载样品用的样品台、检测二次电子的二次电子检测器、观察图像的显示系统及进行各种操作的操作系统等构成(图1),电子光学系统由用于形成电子探针的电子枪、聚光镜、物镜和控制电子探针进行扫描的扫描线圈等构成,电子光学系统(镜筒内部)以及样品周围的空间为真空状态。图1 SEM的基本结构图2 电子枪的构造图电子枪电子枪是电子束的产生系统,图2是热发射电子枪的构造图。将细(0.1 mm左右)钨丝做成的灯丝(阴极)进行高温加热(2800K左右)后,会发射热电子,此时给相向设置的金属板(阳极)加以正高圧(130kV),热电子会汇集成电子束流向阳极,若在阳极中央开