NanoSystemNanoSystem白光白光干涉仪干涉仪深圳市欧博浩瀚科技有限公司()刘友喜（LeoKeen Liu）三维测量技术比较COMPAREOptical TriangulationCSM1nm 1um 1mm1nm1um1mm垂直分辨率垂直测量范围AFMWSIPSIq OPT: 光学三角测量 q CSM: 共焦扫面显微镜q PSI : 移向干涉测量法q WSI : 白光干涉法q AFM : 原子力显微镜三维图像的比较 三维图像的比较根据测量技术特征测量技术 高分辨率 优点（特点） 缺点Optical Triangulation光学三角测量数m使用简单 测量速度/精度非常低容易配备到设备 镜面或透明物体不能测量有相对较宽的测量范围 水平方向分辨率低运行距离（W.D）Long 很难测量粗糙程度CSM 激光共焦显微镜数十数百nm可获得深度深的影像 根据倍率变更测量分辨率容易观察表面状态的2D 10X以下很难测量细微形状可选择测量速度及精度 高度测量精度相对较低高倍率使用便利 激光寿命短PSI移相干涉测量0.1nm根据倍率分辨率没有变更 临近像素高度差必须是使用波长的1/2 使用
