让不可能成为可能 Making the IMPOSSIBLE possible磁 控 溅 射 原 理815TCO1让不可能成为可能 Making the IMPOSSIBLE possible 磁控溅射原理 直流辉光放电 右图为直流辉光放电的发光区电位分布 及净空间电荷沿极间距的分布图。 靠近阴极有一明亮的发光区，称为阴极 辉光区。 电子在阴极暗区发生大量的电离碰撞， 正离子被加速射向阴极。但是正离子的 迁移率远低于电子的迁移率，净空间电 荷呈正值，在阴极表面附近形成一个正 离子壳层。 阴极暗区是气体辉光放电的最基本组 成 部分。 在负辉光区，电子碰撞气体原子产生强烈的发光。 法拉第暗区和正柱区几乎是等电位区，不一定是辉光放电所必需。2让不可能成为可能 Making the IMPOSSIBLE possible 磁控溅射原理 低频交流辉光放电在频率低于50KHz的交流电压下，离子有足够的活动能力且有充分的时间，在每个半周期在各个电极上建立直流辉光放电。其机理基本上与直流辉光放电相同。 射频辉光放电在一定气压下，在阴阳极之间施加交流电压，当其频率增高到射频频率时即可产生稳定的射频辉光放
