第二篇 材料电子显微分析第八章 电子光学基础第九章 透射电子显微镜第十章 电子衍射第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析第十二章 高分辨透射电子显微术第十三章 扫描电子显微镜第十四章 电子背散射衍射分析技术第十五章 电子探针显微分析第十六章 其他显微结构分析方法1第十四章 电子背散射衍射分析技术本章主要内容第一节 概 述第二节 电子背散射衍射技术相关晶体学基础第三节 电子背散射衍射技术硬件系统第四节 电子背散射衍射技术原理及花样标定第五节 电子背散射衍射技术成像及分析第六节 电子背散射衍射技术数据处理2l 电子背散射衍射(EBSD)技术，开始于20世纪80年代，该技术是基于扫描电子显微镜为基础的新技术l 利用此技术可以观察到样品的显微组织结构， 同时获得晶体学数据，并进行数据分析l 这种技术兼备了 X 射线统计分析和透射电镜电子衍射微区分析的特点， 是X射线衍射和电子衍射晶体结构和晶体取向分析的补充l 电子背散射衍射技术已成为研究材料形变、 回复和再结晶过程的有效分析手段，特别是在微区织构分析方面的应用第一节 概 述3EBSD的发展大致经历以下几个阶段：l 1928年，日本学者Kikuchi在
