等离子体表面处理技术讲座 -奥坤鑫科技有限公司主讲：刘善双1、什么是等离子体及怎样建立等离子体；等离子体 (中文)=PLASMA (英文)=电浆(台湾) 等离子体的发现:1879、英国物理学家、 William Crookes-物质第四状态1929、美国化学物理学家、 Langmuir-等离子体 等离子体定义：部分或是全部电离的气体；主要包括：电子、离子、中性基团、分子、光子固体 液体 气体 等离子体 能量 能量 能量 等离子体的形成物质的四种状态什么是等离子体 等离子体成分,对外呈现电中性物质的第四种形态 低温等离子体的建立系统(PCB行业);水平式和垂直式等离子体工业生产模型产生低温等离子体系统 等离子体主要作用：清洁、蚀刻和改性 清洁：去除表面有机物污染和氧化物 蚀刻：化学反应性蚀刻、物理蚀刻 改性：粗化、交联2、等离子体在现代工业中的主要用途等离子体的主要用途： 半导体IC行业蚀刻小孔，精细线路的加工IC芯片表面清洗绑定打线沉积薄膜纺织行业纺织行业纺织纤维表面改性； 纺织纤维表面改性；生物和医疗行业生物和医疗行业半透膜表面亲水的改性； 半透膜表面亲水的改性；医疗器械的清洁； 医
