材料分析化学第6讲扫描电镜分析原理扫描电镜分析原理朱永法清华大学化学系2002.11.15清华大学化学系 1 材料与表面实验室形貌分析简介形貌分析简介 材料的形貌也是材料分析的重要组成部分，主要分析材料的几何形貌，材料的颗粒度以及颗粒度的分布等方面。 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜清华大学化学系 2 材料与表面实验室扫描电镜分析扫描电镜分析 扫描电子显微镜是最常用的显微形貌分析仪器之一 。 二次电子象 背散射电子象 吸收电流象 透射电子象等信息清华大学化学系 3 材料与表面实验室基本知识基本知识 由于可见光波的波长在500nm左右，其衍射效应使得光学显微镜的分辨本领不能小于200nm。 显微镜的分辩本领：d0.61/（nsin），由此可见显微镜的分辩本领与光的波长成正比。当光的波长越长，其分辨率越低。只有采用比较短的波长的光线，才能获得较高的放大倍数 电子波 （1.50/E）1/2 nm。 当加速电压为100 kV时，电子的波长仅为0.0037nm ；当 E = 30KeV 时, 0.007nm 电子显微镜可以获得很好的高分辨率图像，0.5nm；清华大学化
