内容简介：本课程面向微电子技术未来发展的需求,结合微系....DOC

上传人：天*** 文档编号：1020641 上传时间：2018-11-19 格式：DOC 页数：1 大小：26KB

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资源描述

内容简介：本课程面向微电子技术未来发展的需求，结合微系统（MEMS）技术的基础理论、典型器件和发展趋势，重点讲述微系统基本理论、微纳制造技术、MEMS 技术、微型传感器技术、系统集成技术和方法等内容。本课程强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，通过基础知识、前沿发展和典型集成微系统作为牵引，学习集成微系统的设计与实现技术，培养分析解决多学科交叉问题的能力，并介绍集成微系统在无线通信、生物医学、人工智能、物联网等应用领域的应用。

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