X 射线能量色散谱（EDS ） x-ray energy dispersive spectrocopy（X 射线波长色散谱（WDX ）安装在扫描或透射电子显微镜上）一、X 射线能谱分析的基本原理二、X 射线能谱仪三、利用X 射线能谱对样品成分进行分析四、X 射线能谱仪的工作方式五、X 射线能谱分析的优点和缺点光电子、荧光X 射线及俄歇电子产生过程一、X 射线能谱分析的基本原理 利用一束聚焦到很细且被加速到5 30Kev 的电子束，轰击用显微镜选定的待分析样品上的某个“点”，利用高能电子与固体物质相互作用时所激发出的特征X 射线波长和强度的不同，来确定分析区域中的化学成分。 能方便地分析从4Be 到92U 之间的所有元素。 二、 X 射线能谱仪图1 X 射线能谱仪 能谱仪的关键部件是Si(Li) 检测器，它实际上是一个以Li 为施主杂质的n-i-p 型二极管，其结构示意图如图2所示。 图2 Si(Li) 检测器探头结构示意图 一个X 射线的光子通过825m 的铍窗口进入探测器后会被Si 原子所俘获， Si 原子吸收了入射的X 射线光子后先发射一个高能电子，当这个光电子在探测器中移动并发生
