x射线光电子能谱数据处理主要内容n 仪 器型号及主要参数 n 元素组 成鉴别n 元素定量分析n 元素化学态 分析 主要内容 仪器型号及主要参数 仪器型号及主要参数n X 射线光电子能谱仪型号:AXIS ULTRA DLD (岛津集团Kratos 公司生产)n X 射线源:单色化Al 靶,Al K hv=1486.6eVn 样品分析区域:700300mn X 射线工作功率:一般为150w 。n 数据命名:“ 谱图- 姓首字母+ 样品号” (如Dataset wide-z1:7(2014-03-11) 中“wide-z1” 就是数据名称)主要内容元素组成鉴定元素组成鉴定操作步骤 :1.使用Excel 打开原始数据。将表格数据向下拉,依次为宽谱 (wide)及各个元素的窄扫 描数据(如O1s,C 1s 等)2.选 取宽谱 (wide )的(或是要分析元素的)数据区域3.将数据拷入Origin 软 件,以Binding Energy (BE )作为 横坐标 ,Intensity (I )作为纵 坐标 作图 ,得到曲线 。4.不同元素对应 唯一的结 合能数值 (BE ),可与X 射线 光电 子