LOGO传感器技术 加速度传感器MEMSLOGO目录简述加速度传感器1电阻式加速度传感器2电容式加速度传感器3其他类型加速度传感器 4Group 3LOGO篇前语vMEMS 是什么？加速度传感器与MEMS 什么关系？ 微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System ），也叫做微电子机械系统 微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。Group 3LOGO概述 加速度传感器 加速度传感器中的分类加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就好比地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量，比如g ，也可以是变量。加速度计有两种：一种是角加速度计，是由陀螺仪（角速度传感器）的改进的。另一种就是线加速度计。加速度传感器的原理随其应用而不同，有压阻式，电容式，压电式，谐振式、伺服式等。Group 3LOGO压阻式加速度传感器压阻式压阻式器件是最早微型化和商业化的一类加速度传感器。基于世界领先的MEMS 硅微加工技术，压阻
