TEM结构原理及应用ppt课件.ppt

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透射电子显微镜 TEM天津大学分析测试中心主要内容主要内容1 1 透射透射电镜电镜简介简介2 2 透射电镜主要结构透射电镜主要结构3 3 透射电镜电子图象形成原理透射电镜电子图象形成原理4 4 透射电镜样品制备透射电镜样品制备55 应用应用 透射电镜,即透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM),是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜对透射电子聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。目前世界上最先进的透射电镜的分辨本领已达到0.1nm,可用来直接观察原子像。什么是透射电镜?什么是透射电镜?p通常人眼的分辨本领大概是0.2mm(即人眼可分辨的两点间最小距离 为0.2mm)p显微镜可分辨的两点间的最小距离,即为显微镜的分辨率为什么采用电子束做为光源为什么采用电子束做为光源?采用物镜的孔径角接近90度考虑采用可见光波长极限390nm的光束照明显微镜系统,可得d约为200nm对于TEM在100kV加速电压下,波长0.0037nm,d约为0.002nm,目前电子显微镜达不到其理论极限分辨率,最小分辨率达到0.1nm光学显微镜与透

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