洁净室气流组织模拟 同济大学 吴利瑞 您是否看过浮游于空气中的异物？ 您知道空气中的异物，将决定产品品质与成品率吗？ 您知道这些异物从何而来吗？ 闲 谈各种微粒子尺寸大小比较 粒径（ ） 油烟香烟的烟尘 碳粉病毒皮肤屑毛发涂料花粉撕纸粉尘细菌 可视粒子 10 m 常出现的污染源皮肤屑化纤棉花纤维头发/ 羊毛纤维灰尘洁净技术的必要性电子产品生产车间若洁净技术不过关，将容易使产品上附着灰尘或异物，会造成产品配线短路、断路，进而造成低良品率不良制品短路 断路 缺陷 50 100 半导体20 30 喷墨点 研究表明 LCD 次品中70%是由于粉尘、污染物的原因造成的.洁净技术的必要性 污染物下吹气流将人体上黏附的污染物四处扩散.。人体产生的污染物含有很多碱性物质，其中含有Na粒子的污染物对半导体产品影响很大.0.0015mm洁净技术的必要性对于半导体产品生成用的洁净室,最怕含钠粒子,因为一旦被沾染上这种粒子,就会产生程度是其粒径几十倍的缺陷.例如0.1um的NaCL粒子,在硅片表面因潮解而能扩散为50um的圆面积,相当于64K的40位存储单元一半的面积集成电路的发展年份 DRAM 硅片直径mm
