第3章 双极型晶体管 3.1晶体管的结构与工作原理 3.1.1 晶体管的基本结构 晶体管就有两种基本组合形式:P-N-P型或N-P-N型,它们的结构和符号如图所示,其符号中的箭头方向表示发射结电流的方向。 (a)管芯结构 (b)符号 P-N-P型晶体管的结构和符号 3.1.2晶体管的制备工艺与杂质分布 1. 合金晶体管 PNP型合金管结构与杂质分布如图所示 合金晶体管的杂质分布特点:三个区的杂质分布都是均匀分布,基区的杂质浓度最低,其发射结和集电结均是突变结。 (a)管芯结构 (b)杂质分布 锗合金晶体管的结构与杂质分布 3.1.2晶体管的制备工艺与杂质分布 2. 平面晶体管 平面晶体管结构与杂质分布如图所示 平面工艺最主要的特点是:利用SiO2稳定的化学性能,能耐高温,具有掩蔽杂质原子扩散和良好的绝缘性能,与光刻技术相配合,可进行选择扩散,这样使平面晶体管具有更为合理的电极形状,薄的基区,钝化的表面,因此在功率、噪声、稳定性、可靠性等方面达到一个较高的水平。 (a)管芯结构 (b)杂质分布 图3-4 硅平面晶体管的结构与杂质分布 3.1.2晶体管的制备工艺与杂质分布 3. 外延平面晶