精选优质文档-倾情为你奉上纳米压印技术的基本方法及其应用摘要：纳米压印技术具有加工成本低，使用设备简单，制备周期短等优点，是目前纳米沟道加工的主要技术。本文介绍了纳米压印技术中热压印、紫外固化压印和微接触等三种典型的压印工艺及其关键技术，并对三种工艺方法的优缺点进行对比说明，总结了纳米压印技术的应用领域，最后对该技术的发展进行了总结和展望。关键词：纳米压印技术 热压印 紫外固化压印 微接触中图分类号：TH161The Main Method and Application of Nanoimprint TechnologyAbstract: Nanoimprint technology which has low cost, simple device and Short production cycle is the main technology in Nano-channel production. This article describes the typical embossing process and key technol
