机械制造技术基础第5章机械加工质量及其控制FUNDAMENTALSOFMACHINERYMANUFACTURINGTECHNOLOGYMachiningQualityanditsControl15.1概述5.1.1机械加工质量的含义表面（微观）形貌 加工变质层 零件质量装配质量机械产品质量材料，金相组织 (材质) 加工精度，波纹度 ，表面粗糙度 (几何)加工精度表面质量尺寸精度形状精度位置精度机械加工质量2加工精度及其发展车、铣磨CNC机床研磨，工具磨光学磨，金刚石车、磨金刚石超精车、磨，电解加工衍射光栅刻线机电子束，离子束，X射线分子束生长，离子注扫描隧道技术3 激光反射镜平面度提高到30nm，表面粗糙度 降低到10nm，反射率将提高到 99.8%以上。否则，寿命将大大缩短 磁头与磁盘间的飞行高度在50nm以下，若进一步降低将使存储容量呈指数倍增长 1kg精密陀螺转子的偏心增加0.5nm，将引起100m的射程误差和50m的轨道误差 45 机械加工精度的各项指标既有区别，又有联系。 一般情况下，形状精度要求高于尺寸精度，位置精度要求也高于尺寸精度。 精密和超精密加工技术 机械加工的技术
