螺杆干式真空泵(共28页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上目录螺杆式干式真空泵摘 要：近年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中，对清洁真空环境的要求越来越高。如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反应离子刻蚀(RIE)工艺中，在液晶生产上使用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中，不但要求环境清洁，而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反应生成气体。这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。本文的研究对象螺杆式干式真空泵，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽空间不受污染;无油蒸汽排放，保证了外部环境的清洁。由于阴阳转子齿面间留有间隙，因而可以抽除含有粉尘，或有腐蚀性，有毒的气体。作者主要着重于以下几个方面的研究：干式螺杆真空泵的基本原理。阴阳螺杆的型线研究。螺杆端面型线采用双边对称圆弧型线，推导出啮合原理的数学表达式，建立几何模型推导出端面型线方程，继而推导出螺旋齿面方程。几何特性的研究等。关键词：干式真空泵 螺杆 型线