1扫描电子显微镜的构造和工作原理 电子光学系统 信号的收集和 图像显示系统 真空系统 扫描电镜结构原理示意图2电子光学系统 电子光学系统包括: 电子枪 电磁透镜 扫描线圈 样品室3电子枪 扫描电子显微镜中的电子枪与透射电子显微镜的电子枪相似,只是加速电压比透射电子显微镜低。4电磁透镜 扫描电子显微镜中各电磁透镜都不作成像透镜用,而是作聚光镜用。它们的功能是把电子枪的束斑(虚光源)逐级聚焦缩小,使原来直径约为50m的束斑缩小成一个只有数纳米的细小斑点。 扫描电子显微镜一般都有三个聚光镜。前两个聚光镜是强磁透镜,用于缩小电子束光斑;第三个聚光镜是弱磁透镜(称为物镜),具有较长的焦距。目的是使样品室和透镜之间留有一定的空间,以便装入各种探测器。 扫描电子显微镜照射到样品上的电子束直径越小,相当于成像单元的尺寸越小,相应的分辨率就越高。 普通热阴极电子枪的束径可达到6nm左右。 5扫描线圈 扫描线圈的作用是使电子束偏 转,并在样品表面作有规则的 扫动。图示为电子束在样品表 面进行扫描的两种方式。 进行形貌分析时采用光栅扫描方式(a),当电子束进入上偏转线圈时,方向发生转折,随后又由下偏转线圈使