扫描电镜的原理及应用一. 扫描电镜基本原理 扫描电子显微镜的成像原理： 是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦高能电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。 早在1935年，德国的Knoll就提出了扫描电镜的工作原理。 1938年，Von Ardenne 开始进行实验研究。 1942年，Zworykin、Hill 制成了第一台实验室用的扫描电镜，但真正作为商品，那是1965年的事。 70年代开始，扫描电镜的性能突然提高很多，其分辨率优于20nm，才广泛地被应用。11、扫描电镜的构造和工作原理（1） 扫描电镜结构原理方框图 扫描电镜构造：1. 电子光学系统；2. 信号收集处理、图像显 示和记录系统；3. 真空系统；4. 电气系统 四个基本部分组成。21、扫描电镜的构造和工作原理（2） 基本工作原理： 扫描电镜结构原理方框图 3通过对电子枪内的钨灯丝加-20KV的高电压，使电子枪处于热激发状态，在阳极的作用下，处于热激发状态的电子枪就可以激发出电子束，这个电子束就是光源。但是刚刚激发出的电子束束斑比较粗，大概7-10微米左右，不利于清晰成像，因此，有必要对该电子束进行细化，
