第三章 半导体制造中的化学品 3.1 物质形态 宇宙中的所有物质都存在三种基本形态：固态、液态或气态。另外还有第四种形态：等离子体。 固体有其自己固定的形状，不会随着容器的形状而改变。液体随着容器的形状而改变自己的形状。液体会填充容器的相当于液体体积大小的区域，并会形成表面。气体也随着容器的形状而改变自己的形状，但气体会充满整个容器，不会形成表面。 等离子体（plasma）是一种电离的气体，含有离子、电子和核心粒子的不带电的离子化物质。由于存在电离出来的自由电子和带电离子，等离子体具有很高的电导率，与电磁场存在极强的耦合作用，由克鲁克斯在1879年发现，等离子体是存在最广泛的一种物态，目前观测到的宇宙物质中，99%都是等离子体 。 举例来说，恒星、荧光灯和霓虹灯中充入的气氛都是等离子体。将一定的气体曝露在高能电场中，就能诱发等离子态。 3.2 材料的属性 材料属性有两类，化学属性和物理属性。材料的物理属性是指那些通过物质本身而不需要与其他物质相互作用反映出来的性质。物理属性有：熔点、沸点、电阻率和密度等。材料的化学属性是指那些通过与其他物质相互作用或相互转变而反映出来的性质。化学属性有
