第四章 无机薄膜材料与制备技术4.1 薄膜及其特性 一、 薄膜的定义及其特性 二、薄膜材料的分类 三、 薄膜的结构特征与缺陷 四、 薄膜和基片Date Date 2 2一、薄膜的定义及其特性 什么是“薄膜”（thinfilm），多“薄”的膜才算薄膜？ 薄膜有时与类似的词汇“涂层”（coating）、“层”（layer）、“箔”（foil）等有相同的意义，但有时又有些差别。 通常是把膜层无基片而能独立成形的厚度作为薄膜厚度的一个大致的标准，规定其厚度约在1m左右。 Date Date 3 3 薄膜材料的特殊性 同块体材料相比，由于薄膜材料的厚度很薄，很容易产生尺寸效应，就是说薄膜材料的物性会受到薄膜厚度的影响。 由于薄膜材料的表面积同体积之比很大，所以表面效应很显著，表面能、表面态、表面散射和表面干涉对它的物性影响很大。 在薄膜材料中还包含有大量的表面晶粒间界和缺陷态，对电子输运性能也影响较大。 在基片和薄膜之间还存在有一定的相互作用，因而就会出现薄膜与基片之间的粘附性和附着力问题，以及内应力的问题。Date Date 4 4（1）表面能级很大 表面能级指在固体的表面，原子周期排列的连续
