扫描电子显微镜 (SEM) 扫描电镜的商品化始于六十年代中期。它的成像原理与光镜和透射电镜完全不同。 SEM不用透镜放大成像，而用细聚焦电子束在样品表面扫描，激发样品产生各种物理信号，检测二次电子和背散射电子信号调制成像（类似电视摄影显像方式)。扫描电镜的性能金相显微镜: 观察大块样品，但分辨率、放大倍数低，景深小。透射电镜: 分辨率、放大倍数高，但对样品厚度要求十分苛刻(薄膜、粉末样品)。扫描电镜: 分辨率较高(可达1nm），放大倍数连续可调（从20 倍到60万倍），景深大, 适合观察粗糙表面 (如断口和显微组织的三维形态等)。扫描电镜样品室可以装入更多的探测器，在一台仪器上实现表面形貌，微区成分和晶体结构等多种分析。还可以使用样品加热台、冷却台、拉伸台等进行动态观察.场发射扫描电子显微镜分辨率1nm场发射扫描电子显微镜（配有能谱仪） 钨灯丝扫描电子显微镜配有能谱仪n 电子光学系统n 信号检测放大系统n 图象显示记录系统n 真空系统n 电源系统一.SEM结构及工作原理图SEMSEM结构结构五大系统五大系统1.电子光学系统的组成 电子枪电子枪 电磁透镜电磁透镜 扫描线圈扫描线圈 样品室
