xx市光罩产业行动计划(意见稿).docx

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泓域咨询/xx市光罩产业行动计划xx市光罩产业行动计划目录一、 指导路线2二、 坚持原则2三、 区域产业条件3四、 发展目标8五、 保障方案9重点项目分析:xx项目12重点项目分析:xx项目18重点项目分析:xx项目24为推动区域产业转型升级、持续健康发展,制定本规划方案,请结合实际认真贯彻执行。光罩又称光掩模版、掩膜版,由石英玻璃作为衬底,在上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。我国相关产业发展的主要任务是贯彻落实科学发展观和走新型工业化道路原则,加快结构调整。相关产业要持续结构调整和产业升级,加强和改进投资管理,建立企业自我约束机制,完善有利于发展的市场环境,进一步加强和改善宏观调控,避免投资盲目扩张,促进相关产业健康发展。一、 指导路线

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