化学气相沉积(CVD)Hong Xiao, Ph. D. 1 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm化学气相沉积(CVD) 概念 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition) 气体或蒸气在晶圆表面产生化学反应，并形成固态薄膜的沉积方法.Hong Xiao, Ph. D. 2 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm沉积制程岛状物成长岛状物成长，横截面图岛状物合并 连续薄膜Hong Xiao, Ph. D. 4 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htmCVD 制程 APCVD ：常压化学气相沉积法 LPCVD ：低压化学气相沉积法 PECVD ：等离子体增强型化学气相沉积法Hong Xiao, Ph. D. 5 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm加热器晶圆N2N2制程气体排气晶圆输送带输送带清洁装置APCVD 反应器示意图Hong Xiao, Ph. D. 6 www2.austin.cc.tx.us/HongXia
