化学气相沉积(中文版)2016知识讲解ppt课件.ppt

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化学气相沉积(CVD)Hong Xiao, Ph. D. 1 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm化学气相沉积(CVD) 概念 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition) 气体或蒸气在晶圆表面产生化学反应,并形成固态薄膜的沉积方法.Hong Xiao, Ph. D. 2 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm沉积制程岛状物成长岛状物成长,横截面图岛状物合并 连续薄膜Hong Xiao, Ph. D. 4 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htmCVD 制程 APCVD :常压化学气相沉积法 LPCVD :低压化学气相沉积法 PECVD :等离子体增强型化学气相沉积法Hong Xiao, Ph. D. 5 www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm加热器晶圆N2N2制程气体排气晶圆输送带输送带清洁装置APCVD 反应器示意图Hong Xiao, Ph. D. 6 www2.austin.cc.tx.us/HongXia

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