光罩项目职业健康安全与环境管理概况(模板).docx

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光罩项目职业健康安全与环境管理概况目录第一章 行业背景分析3第二章 职业健康安全与环境管理体系5一、 职业健康安全与环境管理体系的建立步骤5第三章 公司简介9一、 公司基本信息9二、 公司简介9第四章 宏观环境分析11第五章 项目基本情况14一、 项目名称及建设性质14二、 项目承办单位14三、 项目实施的可行性15四、 项目建设选址17五、 建筑物建设规模17六、 项目总投资及资金构成17七、 资金筹措方案18八、 项目预期经济效益规划目标18九、 项目建设进度规划18第一章 行业背景分析光罩又称光掩模版、掩膜版,由石英玻璃作为衬底,在上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻。光罩是半导体核心工艺光刻的最关键器件。对晶圆制造厂来说,光罩

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