气体纯化技术技术基于：Purificationv 基于“FAB” 模式纯化所有的大宗气体（N2 、O2 、Ar 、He 、和CAD ）v 可以将纯度低于1ppb 的气体纯度提高到0.1ppbv 产气流量范围从10M3/hr 到3000M3/hr 。v 对大量的特气也能纯化。Pure Gas Technologiesv 吹扫/ 柜式纯化器v 点使用式纯化器v 区域纯化器v 大型纯化器Bulk Gas Purification Technologiesv 材料及操作原则v 杂质去除v 应用MaterialsGetters:均质金属（无支撑）：球状锆、钒、钛Supported Metals:支撑性材料、反应金属：球状铜、镍、铂、保护性物质Zeolites ：均质金属：球状、分子筛Operationv 纯化进程1 、催化氧化2 、物理吸收3 、化学吸收催化氧化v 催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物氧化CO2 和H2O 。v 方法：催化器+ 加温+O2v 保护性物质+ 铂，300400 ，富氧环境v 反应过程： 2H2+O2=2H2O 2CO+1O2=2CO2 1CH4+2O2=1CO2+2
