光掩模玻璃基板项目工程组织管理(参考).docx

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光掩模玻璃基板项目工程组织管理目录第一章 行业背景分析2第二章 公司基本情况4一、 公司简介4二、 核心人员介绍4第三章 宏观环境分析6第四章 项目简介8一、 项目名称及项目单位8二、 项目建设地点8三、 建设规模8四、 项目建设进度8五、 建设投资估算8六、 项目主要技术经济指标9第五章 工程组织管理11一、 工程项目管理的基本原理11二、 工程项目周期及阶段划分21三、 工程项目的特征21第一章 行业背景分析光刻掩膜版,简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。光学掩模板是在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(集成电路)、FPD(平板显示器)、PCB(印刷电路板)、MEMS(微机电系统)等。光掩模板主要由玻璃基板与遮光膜两部分

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