Scanning ElectronMicroscope世界上第一张SEM照片(1935)第一台结构完整的SEM(1951) Cambridge University 第一台商品SEM(1965)Akashi Seisakusho Ltd.SX-40S-4800型场发射SEM(Hitachi)图像 元素样品架样品室 SEM是一种将电子束与物质相互作用所产生的二次电子、背散射电子和X射线进行成像和分析的仪器。 高能电子经会聚透镜和物镜聚焦，在样品表面形成一细电子束。电子枪阳极聚光镜光栏聚光镜物镜光栏物镜样品 通常使用多个磁透镜，使电子束交叉斑缩小至5nm1m。电子枪阳极聚光镜光栏聚光镜物镜光栏物镜样品 调节电子束强度调节电子束斑大小 扫描线圈磁场驱动电子束在样品表面作光栅式逐点扫描。 “物点”与“象点”在时间和空间上一一对应。 每张图像像素超过100万.SEM放大倍数 减小扫描幅度，可以提高放大倍数。 将样品细节放大到人眼刚能看清楚的放大倍数。有效放大倍数 分辨率无法通过图像的放大来提高2micron粉煤灰蜘蛛毛( 伪彩色)10micron荧光粉(ZnS)1micron100,000X20
