第五章 固溶体半导体材料李斌斌n 5.1 固溶体的概念n 5.2 SiGe 固溶体n 5.3 应用5.1 固溶体n 凡在固体条件下,一种组分(溶剂)内“ 溶解” 了其它组分(溶质)而形成的单一、均匀的晶态固体称为固溶体。n 固溶体半导体材料是某些元素半导体或者化合物半导体相互溶解而形成的一种具有半导体性质的固态溶液材料,又称为混晶半导体或者合金半导体。5.1.1 固溶体的基本性质n 半导体的重要参数,如晶格常数和带隙等随组分变化而发生连续变化。n 因而可以通过对其组分的控制来调节材料的基本性质n 采用固溶体原理来制备或开发各种新的材料,满足科技的发展对材料性能提出的特殊性要求 晶格常数Vegard 定律带隙5.1.2 固溶体的分类n 按溶质质点在溶剂晶格中的位置来划分 n 按溶质在溶剂中的溶解度分类 n 根据固溶体在相图中的位置划分 n 根据各组元分布的规律性划分1 )按溶质质点在溶剂晶格中的位置 置换型固溶体 间隙型固溶体 置换型固溶体:取代型n MgO-CoO 、MgO-CaO、PbTiO3-PbZrO3、Al2O3-Cr2O3n Cu-Zn 系 和 固溶体 间隙型固溶体:填隙型n