天海星联MEMS 陀螺仪王宝一、概述 mems陀螺仪即微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。二、原理 MEMS陀螺仪利用科里奥利力旋转 物体在有径向运动时所受到的切向力. 如果物体在圆盘上没有径向运动,科里奥利力就不会产生.因此,在 MEMS陀螺仪的设计 上,这个物体被驱动,不停地来回做径向运动或者震荡,与此对应的科里奥利力就是不停地 在横向来回变化,并有可能使物体在横向作微小震荡,相位正好与驱动力差 90度二、原理 MEMS陀螺仪通常有两个方向的可移动电容板（也有其他的结构）.径向的电容板加震荡电压迫使物体作径向 运动,横向的电容板测量由于横向科里奥利运动带来的 电容变化. 因为科里奥利力正比于角速度,所以由电容的变化 可以计算出角速度.二、原理 用来产生参考振动的驱动方式有静电驱动、压电驱动和电磁驱动等，而检测由科氏力带来的附加振动的检测方式有电容检测、压
