Page 2 前 言 第一章 超纯水制备系统 第二章 回收水处理系统 Page 3前言 超纯水（UPW-Ultra-Pure Water ）系统是最重要的动力支持系统之一，分别为阵列（Array ），成盒（Cell ），彩膜（Color Filter ）等主要制造工艺提供合格的超纯水。在各个制造工艺中，主要用作玻璃基板的冲洗，和较高浓度的化学品原液混合配制工艺制造所需特定浓度的化学品。换句话说，超纯水在制造工艺中将直接和产品或产品部件发生直接接触。鉴于此，必须借助于一些特殊的方法将存在于原水（自来水）中的将可能对制造工艺造成影响的污染因子去除。比如TDS （总溶解固形物），TOC （总有机碳），细菌，二氧化硅，DO （溶解氧）以及一些金属离子（Na, K, Ca, Cu ）等。为了降低原水中的这些污染因子，超纯水系统采用了一系列的设备，比如多介质过滤器（MMF ），活性炭过滤器（ACF ），反渗透（RO ），离子交换器，紫外灯（UV ），混床（MB ），膜脱气（MDG ）和超滤等。同时，为了保证提供稳定合格的超纯水，防止超纯水在长距离输送过程中滋长细菌而导致水质变坏，超纯水设计了循环供
