半导体物理与器件-PPT课件-教学-作者-裴素华-第2章-PN结机理与特性.ppt

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第二章 PN 结机理与特性2.1 平衡PN 结的机理与特性2.1.1 PN 结的制备与杂质分布在N 型( 或P 型) 半导体单晶片衬底上,分别采用不同的掺杂方法,使原来半导体的一部分变成P 型,(或N 型),那么在P 型半导体与N 型半导体的交界面处就形成了PN 结,如图n 合金法及其杂质分布合金法制备PN 结的基本过程如图所示n 扩散法及其杂质分布用扩散法制备PN 结的基本过程如图扩散结的形成过程a )氧化 b )光刻 c )P 型杂质的扩散 d )n 离子注入法及杂质分布扩展结的杂质分布a )恒定源杂质的分布 b )限定源杂质的分布 c )线性源变节近似离子注入PN 结及其杂质分布n 外延生长法2.1.2 平衡PN 结形成与能带n 1 平衡PN 结形成平衡PN 结空间电荷区的形成a ) P 区与N 区载流子扩散 b )PN 结空间电荷区平衡PN 结表现出来的3 个主要特征:1. 通过平衡PN 结的静电流为零;2. 在空间电荷区,两侧正负空间电荷数量相等;3. 空间电荷区以外的N 型区和P 型区仍是电中性的。n 2 平衡PN 结的能带图平衡PN 结的能带图a ) N 型、P 型半导体

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