扫描电镜结构、原理及应用上海欧波同仪器有限公司罗俊www.china- www.china-Page 2人眼分辨率www.china- www.china-光学显微镜的局限 分辨率主要取决于照明源的波长 可见光的波长在400-700 nm之间，所以光镜的分辨率200 nm 电子束波长约为可见光波长的十万分之一，因此采用电子束作为照明源可以大幅提高显微镜分辨率。 电子束的波长为与加速电压有关，加速电压越高，波长越短www.china- www.china-光镜与电镜www.china- www.china-光镜与电镜的光路比较样品物镜光源可见光光镜聚光镜投影镜图像样品聚光镜扫描线圈探测器扫描电镜电子束www.china- www.china-www.china- www.china-景深的定义www.china- www.china-扫描电镜图像 光学显微镜图像光镜与扫描电镜的图像比较www.china- www.china-扫描电镜的特点 有较高的分辨率。钨灯丝可达 3nm 有较高的放大倍数，几倍到几十万倍之间连续可调，且高倍聚焦后缩小到低倍无需再聚焦 有很大的景深，视野大，成像富有立
