薄膜材料与技术（1 ）李美成2008 秋季学期1 1薄膜材料与技术教材参考书l 电子薄膜材料，曲喜新等编著，科学出版社，1997 年11月l 薄膜科学与技术手册，田民波、刘德令编著，机械工业出版社，1991 年 l 薄膜技术，王力衡、黄运添、郑海涛著，清华大学出版社，1991 年 l 薄膜材料与薄膜技术 ，郑伟涛等编著，化学工业出版社，2004 年 l 薄膜物理学， L. 埃克托瓦，科学出版社，1986 年 l Electronic Thin Film Science ，Macmillan Publishing Company ，1992l An Introduction to Physics and Technology of Thin Films， World Scientific Publishing Company ，1994l Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications, Noyes Publications
