数字式球径仪总体(共17页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上 数字式球径仪总体设计报告 院系： 电子信息学院 2011年12月28日武汉大学摘要：光学球面曲率半径的精密测量，对高质量球面样板、光学系统的质量控制等方面具有重要意义。本文根据自参考剪切千涉技术，采用球面补偿自准直原理，并结合微机技术提出了一种新型数字式激光干涉球径仪。详细介绍了该球径仪的测量原理、结构及精度分析。关键字： 曲率半径 激光干涉 数字式 微机系统 精度分析目录引言 光学球面曲率半径的测量是光学测试领域的重要课题之一。根据不同的原理和要求，人们已相继提出了许多测量方法和技术，如自准直望远镜方法、自准直显微镜方法、球面干涉仪方法、刀口阴影方法及平板