第五章 扫描电子显微镜赵鸽第五章 扫描电子显微v概述v电子束与样品作用时产生的信号v扫描电子显微镜的构造和工作原理v扫描电子显微镜的主要性能v表面形貌衬度及其应用v原子序数衬度原理及其应用5.1 概 述v 扫描电子显微镜（Scanning electron microscope -SEM）是通过细聚焦电子束在样品表面扫描激发出的各种物理信号来调制成像的显微分析技术。v SEM成像原理与TEM不同，不用电磁透镜放大成像；v 新式SEM的二次电子分辨率已达1nm以下，放大倍数可从数倍原位放大到30万倍；v 景深大，可用于显微断口分析，不用复制样品；v 样品室大，可安装更多的探测器，因此，与其它仪器结合，可同位进行多种分析，包括形貌、微区成分、晶体结构。5.2 电子束与固体样品作用时产生的信号v样品在电子束的轰击下，会产生各种信号。v背散射电子 v二次电子 v吸收电子 v透射电子 v特征X射线 v俄歇电子背散射电子v 背散射电子是指被固体样品中的原子核或核外电子反弹回来的一部分入射电子。用Ib示背散射电子流。 v 背散射电子的强度与试样的原子序数由密切关系。背散射电子的产额随原子序数的增加而
