电子能谱学第7 讲俄歇电子能谱原理朱永法清华大学化学系2005.11.71俄歇电子能谱俄歇电子能谱 俄歇电子能谱的原理 俄歇电子能谱仪 俄歇电子能谱的实验方法 俄歇电子能谱的应用2 清华大学化学系材料与表面实验室俄歇电子能谱原理俄歇电子能谱原理 俄歇电子的发现 俄歇电子能谱的发展 俄歇电子能谱的重要性 俄歇电子能谱的应用领域3 清华大学化学系材料与表面实验室俄歇电子能谱的建立俄歇电子能谱的建立 1925 年Pierre Auger 就在Wilson 云室中发现了俄歇电子，并进行了理论解释； 1953 年J.J.Lander 首次使用了电子束激发的俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy, AES) 并探讨了俄歇效应应用于表面分析的可能性 1967 年在Harris 采用了微分锁相技术，使俄歇电子能谱获得了很高的信背比后，才开始出现了商业化的俄歇电子能谱仪 1969 年Palmberg 等人引入了筒镜能量分析器（Cylindrical Mirror Analyser,CMA ），使得俄歇电子能谱的信背比获得了很大的改善 最近10 年，俄歇电子能谱适应纳米材料的
