第七章 光电子能谱分析杜伟1光电子能谱分析X射线光电子能谱（X-rayphotoelectronspectroscopy,XPS）表面化学元素的组成、化学态及其分布，特别是原子的价态、表面原子的电子密度、能级结构。紫外光电子能谱（ultravioletphotoelectronspectroscopy,UPS）固体表面价电子和价带分布、气体分子与固体表面的吸附以及化合物的化学键俄歇电子能谱(augerelectronspectroscope,AES)材料表面几个原子层的成分及分布信息同步辐射光电子能谱（synchrotronradiationphotoelectronspectroscopy,SRPS）心血管造影术、微机械加工、大规模集成电路的成型工艺电子能量损失谱（ElectronEnergyLossSpectroscopy,EELS）材料的元素构成 27.1X射线光电子能谱7.1.1 X射线光电子能谱的基本原理 爱因斯坦光电效应定律 光电效应32. 光电离过程光子和原子碰撞产生相互作用原子轨道上的电子被激发出来激发出的电子克服样品的功函数进入真空，变成自由电子每个原子有很多原子轨道
