外延工艺简介ppt课件.ppt

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HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 外延工艺简介By赵仲镛杭州士兰集成电路有限公司杭州经济技术开发东区 10号路 308号Hangzhou Silan Integrated Circuit Co., Ltd。308, No. 10 Road, East HETZ, Hangzhou, Zhejiang, China 310018 2005.08.05 11 HANGZHOU SILAN INTEGRATED CIRCUIT CO., LTD 诚信 忍耐 探索 热情 Faith Endurance Exploration Enthusiasm 什么叫外延生长? 硅外延的基本原理 外延设备及所用的气体 在外延中应注意的问题 外延层中的晶体缺陷 外延的质量表征因子 外延层测试设备 目前国内外延的动态 从事外延工作人员应具备的基本素质:敬业精神、一丝不苟的工作态度、质量意识和安全意识。22 HANGZHOU SILAN INTEGRATED

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