1、微纳中心超净间培训超净间就是达到一定标准的洁净度的实验室，是微纳加工的重要平台。对于洁净度的标准，美联邦的 209E标准的定义是将 “室内悬浮粒子浓度控制在一定水平的房间 ”；洁净室分级：习惯上的称呼为一级 - 十级 -百级 千级 万级 -十万级（美国 209E标准），这些级别的划分是由房间内空气的洁净度（空内悬浮粒子的浓度）来实现的。百级、千级、万级定义单位立英尺空气含直径于 0.5m尘埃粒数。超净间概述超净间工作原理洁净度不达标的后果 超净间 内的主要污染源是人，包括人体衣服表面附着物、纤维、体表脱落物（皮屑、头屑、唾沫）、走路扬起的尘埃等。有数据显示：人员着不同的衣服和各种动作都会对无尘
2、室的空气质量产生影响，见下表：不同衣着、不同动作时的人体产尘超净间污染源控制门禁 2门禁 3门禁1C405C40610万级内走廊缓冲走廊千级区不锈钢柜子新旧鞋柜Research Center for Micro/Nano System 外部挂衣架 (门禁1外走廊)10万级走廊C409C412C410C407C411C414超净间平面布局图鞋柜区 更衣室 净 化 间Filter Filter Filter鞋柜 净 化服存 贮 架 风 淋室 净 化 间 桌子，工作台，椅子， 货 架，推车 及 设备超净间结构图Step 1进入鞋柜区，在该区域：进入鞋柜区，在该区域：1.将限制物品除去将限制物品除去
3、(非非 净化净化 纸、背包等纸、背包等 )2.将个人物品存放在分配的鞋柜里，禁止放到地面或者柜子上。将个人物品存放在分配的鞋柜里，禁止放到地面或者柜子上。3.超净间内不准穿拖鞋，进入净化区域必须穿白色净化鞋（临时参观人员穿一次超净间内不准穿拖鞋，进入净化区域必须穿白色净化鞋（临时参观人员穿一次性鞋套），禁止性鞋套），禁止 穿同一双鞋子穿同一双鞋子 /鞋套在超净间内外进进出出鞋套在超净间内外进进出出 。净化鞋不能直接与日常鞋放在一起 ,否则会交叉污染 ! 应该将净化鞋用塑料袋套好，再放在储物柜内。进出超净间基本操作存放鞋子入柜 更换防尘白鞋进出超净间基本操作Step 2进入一更换衣区，在该区域：进入一更换衣区，在该区域：1.穿一更穿一更 防尘白防尘白 大大 褂褂2.准准 备进入超净间备进入超净间进出超净间基本操作
