1、 BMS500B 型超高真空磁控溅射设备技术方案一、MS500B 型设备技术方案1、 本设备的实验目的为用于制备半导体薄膜及金属及金属化合物薄膜，用于薄膜光电效应的研究。工作方式为单靶独立工作、双靶共溅射、三靶共溅射和四靶共溅射。2、设备的组成：由超高真空磁控溅射镀膜室、进样室、隔断阀门、送样机构、电源及控制系统和真空系统组成。镀膜室和进样室之间由 GV100 超高真空手动闸板阀隔断。3、磁控溅射镀膜室 1 个，3.1 梨型溅射镀膜室 1 个，尺寸为 500450，其上安装有：真空室大法兰盖 1 个。上大法兰盖有装有高温样品架接口法兰 1 个。底板上有 4 个靶法兰接口，用于安装 4 个 50
2、（2）的磁控靶。下面有 CF200 法兰接口 1 个用于连接真空系统和 2 个 CF35 真空测量法兰接口。前和左面 2 个方向各有 1 个 CF100 观察窗口和观察窗挡板。左侧有 CF100 进样法兰接口 1 个。有照明用电极法兰 1 个。CF16 工作气体和干燥氮气充气口 1 个，由 3 路质量流量计和 1 路充气气路汇合到 1 个 CF16 超高真空截止阀。备用 CF63、CF35 法兰各 2 个。3.2 真空获得与测量溅射镀膜室采用 FB1200 涡轮分子泵+2XZ-8 机械泵，极限真空优于 6.010-6Pa，系统漏率：1.310 -8PaL/S，测量采用北京大学产 DL-70 数
3、显复合真空计。3.3 高温样品架组件：基片尺寸：30mm。基片加热温度：6001 。基片台相对磁控靶距离在 50-100mm 范围内可调,沿轴向移动。基片可连续回转,030 转/分。设置样品挡板组件。为避免其他地方过热，加热器隔热屏。23.4 磁控靶:4 个 2 英寸磁控靶，靶射频和直流兼容。靶安装位置为在真空室下底板上做共溅射。3.5 磁控靶挡板:每个磁控靶都有各自挡板，以防止在其不工作时靶材受到污染。3.6 镀膜室采用外烘烤，设置室内照明。3.7 充气气路：在镀膜室上有 3 路通过质量流量计的进气气路，实现进气控制，另外有 1 路充氮气气路。4 路气体均通过 1 个 CF16 超高真空截止
4、阀，向镀膜室进气。3.8 镀膜电源： 射频电源 2 台，功率 500W（北京微电子中心产品） 。 直流恒流源 2 台，功率 500W（北京微电子中心产品） 。4、进样及热处理室 1 个4.1 进样及预处理室组件：真空室腔体尺寸：300L480（mm） ，其上安装有： FB600 分子泵抽气接口法兰 CF150 1 个 CF100 与镀膜室隔离闸板阀接口法兰 1 个 CF63 磁力样品传递机构接口法兰 1 个 CF35 真空测量规管接口法兰 2 个 150 活开门 1 个 CF16 放气阀接口 1 个 CF35 照明电极法兰口 1 个 100 观察窗口 1 个。 CF63 备用接口法兰 1 个。
5、 CF35 备用接口法兰 1 个。4.2 真空获得与测量：采用 FB600 涡轮分子泵+2XZ-8 机械泵，极限真空优于 6.610-5Pa，系统漏率：110 -6PaL/S，测量采用北京大学产 DL-70 数显复合真空计。4.3 样品库：每次装夹 5 片 30 样品。4.4 磁力样品传递装置：L=900mm，在镀膜室不曝露大气条件下完成取送样品的要求5、机架 1 个6、设备控制： 供电：380V/50Hz 三相五线制供电系统，有漏电保护。 配置 2 台国际标准电源柜，其上装有：总控制电源 1 台、DL-70 复合真空计 2 台、样品架加热温控电源 1 台、样品架驱动电源 1 台、3 路质量流
6、量计 1 台、真空室照明电源 1 台、分子泵电源 23台。 镀膜用射频电源和匹配器及直流电源在另外一个电源柜上。二、MS500B 型设备主要组成及报价1 真空获得与测量11 镀膜室真空系统序号 名称 性能指标 数量1.1.1 涡轮分子泵 FB1200 1200L/s 1 台1.1.2 机械泵 2XZ-8 8L/s 1 台1.1.3 闸板阀 VAT 型 GV200，手动 1 台1.1.4 抽气管道 分子泵抽气管道 1 支1.1.5 抽气管道 波纹管抽气管道 900 1 支1.1.6 数显复合真空计 DL-70 1 台12 进样室真空系统1.2.1 涡轮分子泵 FB600 600L/S 1 台1.
7、2.2 机械泵 2XZ-8 1 台1.2.3 闸板阀 VAT 型 GV150，手动 1 台1.2.4 抽气管道 波纹抽气管道 1000mm 1 支CF35 高真空角阀 1 支旁抽管道组件 1m 1 套1.2.5 旁路抽气旁抽电磁挡板阀 1 支1.2.6 数显复合真空计 DL-9 1 台2真空室系统21 镀膜室2.1.1 真空腔体500H450 圆柱体上开盖 1Cr18Ni9Ti 制造1 支2.1.2磁控靶（小挡板）50（2）靶可调整角度、做角度偏移；4 个2.1.3 样品架可调节距离和样品自转，样品最高加热温度 600可控可调1 台2.1.4 观察窗 CF100 2 块2.1.5 观察窗手动挡
8、板 CF16 2 个42.1.6 陶封电极 CF35 四芯 2 块2.1.7 照明 24V 300W 1 套22 进样室2.2.1 进样室 300L480（mm）卧式前开门 1 台2.2.2 闸板阀 进样室与镀膜室隔离 GV100 1 台2.2.3 磁力进样装置 L=900 1 台2.2.4 观察窗 100 胶圈密封 1 个2.2.5 陶封引线电极 CF15 四芯 1 个2.2.6 照明 24V 300W 1 套3进气系统3.1 MFC 质量流量控制计 3 路（氩氧氮，不含控制电源） 3 路3.2 进气截止阀 CF16（超高角阀） 4 个3.3不锈钢进气管、阀卡箍、卡套6 内抛光管 全套4电源
9、4.1 RF 射频电源 N=500W 2 台4.2 DC 直流稳流电源 N=500W 2 台4.3 样品加热控温电源 日本岛电 SR93 表 1 台4.4 控制电源照明、烘烤，电动升降电源机械泵，主旁抽回路控制1 台4.5 样品架驱动电源 1 台4.6 机柜、小机匣 2 台5辅助设备5.1 安装机架 方钢支架、喷塑、不锈钢台面 1 台5.2 水压报警 1 套5.3 无氧铜圈 安装数+备 1 份数 全套5.4 密封圈 密封胶圈 1 支5.5 不锈钢螺钉螺母 全套三、提供的技术服务1、按照 ISO9000-2001 国际质量标准体系组织设计和制造，保证产品质量。2、交货期为 5 个月，按时交货。以上方案仅供参考。5
