精选优质文档-倾情为你奉上三氯氢硅生产工艺三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法，主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢，氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐，然后送三氯氢硅合成炉。硅粉经过干燥后加入到三氯氢硅合成炉，与氯化氢在300左右的高温下反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。生成的粗三氯氢硅气体经过旋风分离和除尘过滤后，进入列管冷凝器进行水冷和深冷，不凝气通过液封送入尾气洗涤塔，处理后达标排放，冷凝液蒸馏塔分离提纯，通常采用二塔连续提纯，一塔塔顶排低沸物，二塔塔底排高沸物四氯化硅，同时塔顶出三氯氢硅产品。% ?0 m& e6 U7 ! Z, B Z; q+ v 第一节2 B3 e: 7 r& N氯化氢合成工艺9 a9 f: i% i5 I1 | U9 E1.1氯化氢的性质% O$ Q( r: s4 . D6 U# Z4 E, c a氯化氢是无色有刺激性气体，熔点为-114.2，沸点为85，比热容为812.24Jkg，临界温度为51.28，临
