材料电镜扫描透射分析实验报告 实验一 材料的电镜（扫描 透射）分析 扫描电镜 一 实验目的 1 了解扫描电镜的基本结构和原理 2 掌握扫描电镜样品的准备与制备方法 3 了解扫描电镜图片的分析与描述方法 二 扫描电镜结构与原理 ( ( 一 ) 结构 1镜筒 镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束(直径约几个 nm)，并且使该电子束在样品表面扫描，同时激发出各种信号。 2电子信号的收集与处理系统 在样品室中，扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号，其中包括二次电子、背散射电子、X 射线、吸收电子、俄歇(Auger)电子等。在上述信号中，最主要的是二次电子，它是被入射电子所激发出来的样品原子中的外层电子，产生于样品表面以下几 nm 至 几十 nm 的区域，其产生率主要取决于样品的形貌和成分。通常所说的扫描电镜像指的就是二次电子像，它是研究样品表面形貌的最有用的电子信号。检测二次电子的检测器(图 15(2)的探头是一个闪烁体，当电子打到闪烁体上时，1 就在其中产生光，这种光
