协会标准多晶硅生产用氯硅烷杂质含量测定电感耦合等离子体质谱法(共5页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上ICS77.040H17CNIA中华人民共和国有色金属协会标准CNIA/T XXXXXXX多晶硅生产用氯硅烷杂质含量分析 电感耦合等离子体质谱法Test method for measuring contamination of chloro-silicane by inductively coupled plasma mass sepectrometry（预审稿）本稿完成日期：2018年05月XXXX - XX - XX发布 XXXX - XX - XX实施中华人民共和国工业和信息化部发布前 言本标准按GB/T 1.1-2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。本标准起草单位：新特能源股份有限公司本标准主要起草人：