精选优质文档-倾情为你奉上精密和超精密加工技术发展现状摘要：精密和超精密加工技术的发展过程和现状，以及对于精密和超精密加工技术未来的展望。关键词：精密加工技术;超精密加工技术;非球面曲面超精密加工一 引言国际上在超精密加工技术方面处于领先地位的国家有美国、德国和日本发达国家中，美国、日本、德国等在高技术领域（如国防工业、集成电路、信息技术产业等）之所以一直领先，与这些国家高度重视和发展精密、超精密制造技术有极其重要的关系。由于加工技术水平的发展，精密和超精密加工划分的界限逐渐向前推移，但在具体数值上没有确切的定义。被加工零件的尺寸精度在1.00.1m，表面粗糙度Ra在0.10.03m之间的加工方法称为精密加工。超精密加工当前是指被加工零件的尺寸精度高于0.1m，表面粗糙度Ra小于0.025m，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01m的加工技术，亦称之为亚微米级加工技术，且正在向纳米级加工技术发展超精密加工技术主要包括:超精密加工的机理,超精密加工的设备制造技术,超精密加工工具及刃磨技术,超精密测量技术和误差补偿技术,超精密加工工作环境
