1、原子 顯微鏡(Atomic Force Microscope-AFM)指導教授 :朱志良 班 級 :碩研能源一甲、碩研米一甲學 生 :林恩賢、陳冠廷學 號 :M991A203、 M99R0102Outline 原子顯微鏡 (AFM)-基本原-工作原 AFM種類-接觸式-非接觸式-輕敲式 AFM之應用2原子顯微鏡 -基本原 AFM 探針所感測的是其與表面之間的排斥或吸引，當探針自無限遠逐漸接近試片表面時，會感受到試片的吸引，但是當探針繼續接近試片表面時，探針與試片表面的排斥逐漸增強，由於探針與懸臂是結合在一起的，探針感受到的作用會使支撐桿產生彎折。3原子顯微鏡 -工作原 將探針接觸物品表面後，由
2、於表面粗糙的關係使得探針會有彎曲或扭轉的現象，再藉由探針表面反射至感測器的雷射光，經由訊號處過後即可得知物品表面的形狀。4AFM的種類5接觸式 原：1.探針直接接觸試片表面。2.探針與試片表面間的作用是原子間排斥 缺點：1.易使試片表面受到傷害，且會損害試片。2.探針易遭污染、折損，影像失真較高。6非接觸式 原：1. 探針與試片表面維持一定的距。2. 探針與試片表面的主要作用為長吸引 凡得瓦爾。 缺點：1.須使用調變技術來增強訊號雜訊比。2. 探針與試片表面距較遠，作用微弱，其影像解析較差。7輕敲式 原：1.探針以高頻在 z方向振動，輕敲試片表面。2.每一振動週期中，探針和試片表面接觸一次。 優點：可避免探針在掃描過程中，與試片表面的異物吸附層所黏附。 缺點：因高頻敲擊影響，對很硬的試片而言，探針針尖可能受損，對很軟的試片，試片很可能會遭到破壞。8操作範圍9AFM之應用10
