微电子中英文对照表 Q/S S 上海天马微电子有限公司企业标准 Q/S0001-2021 T TFT 工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称 版号：1.0 总页数：1 制定部门：制造部生效日期：2021 年 4 月 28 日 拟制：方永学 2021-4-3 审核：向传义 2021-4-3 标准化：吴乃亮 2021-4-25 会签：颜建军朱希玲 2021-4-20 蔡明宏 2021-4-24 凌志华 2021-4-3 批准：安德浩 2021-4-24 2021- -0 04 4 发 布 2021- -0 04 4 实施 上海 天马微 电子有限公司 发布 更改状态 更改内容 更改人 更改日期 一T TFT 工艺流程中英文标准名称 ArrayProcessFlow 阵 列段工 艺流程 Input 投料 Unpacking 拆包装 Initialclean 预备清洗 Particlecount 尘埃粒子测试 Gate 栅电极层 Cleanbeforedepo 成膜前
